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1、分析儀的配套管線：
應確保密封，微小的泄漏都會使環境空氣中的氧擴散進來，從而使測量數值偏高。雖然在測量中，樣氣壓力大于環境壓力，但樣氣中的氧是微量級的，根據法拉利定律，氧的分壓與其體積含量成正比，大氣中含有約為21%的氧，與以PPM計算濃度的樣氣的氧分壓相差一萬倍左右，因而氣樣中微量氧的分壓遠低于大氣中的氧分壓，當出現泄漏時，大氣中的氧便會從泄漏部位迅速擴散進來。
2、管線材質：基本上以銅質或不銹鋼管線為好，次選聚四氟乙烯管。禁選乳膠管、白膠管之類管材，其氣密性和材質抗滲透性太差，測量微量氧在標準測量壓力下誤差太大。
3、樣品：樣品氣中不能含有油類組分或固體顆粒物，以免引起滲透膜阻塞和污染。微量氧分析儀的測量位應盡可能與測量單位接近，以避免過長的管線和過多的不確定因素，影響測量數據的可靠性。
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